最近，Picarro宣布推出一個(gè)完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)"Picarro SAM"。

 

  Picarro SAM由Picarro的工業(yè)領(lǐng)先的基于crds的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。

  SAM單元可以在不影響傳感器性能的情況下提供高吞吐量的采樣。

 

  Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產(chǎn)品(http://www.weberwork.com/invest/)向系統(tǒng)解決方案的重大轉(zhuǎn)變。一站式設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試系統(tǒng)的好處包括：用于Picarro硬件和軟件的全集成系統(tǒng)-無集成兼容性問題；對(duì)PicarroSAM系統(tǒng)進(jìn)行了仔細(xì)的優(yōu)化。

  系統(tǒng)性能符合PicarroSemi系統(tǒng)規(guī)范新發(fā)明的專利氣體輸送流形有助于SAM的顯著性能優(yōu)勢(shì)，使其能夠在非常短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)數(shù)十億分之一(Ppt)的檢測(cè)靈敏度，并迅速將SAM系統(tǒng)恢復(fù)到基線靈敏度水平。

  這使SAM成為在線實(shí)時(shí)AMC監(jiān)控系統(tǒng)的理想選擇。Picarro SAM系統(tǒng)具有易于使用的圖形用戶界面，可以進(jìn)行各種圖表和趨勢(shì)分析。

 

  SAM可為Picarro SAM系統(tǒng)配置8或16個(gè)端口取樣，目前可用于檢測(cè)影響半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)的三種關(guān)鍵AMC氨氣、氟化氫和鹽酸。

 

  SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復(fù)雜的AMC分析，以幫助客戶更準(zhǔn)確和快速地識(shí)別AMC事件的位置，從而能夠更快地采取糾正行動(dòng)，增加與AMC相關(guān)的晶圓生產(chǎn)。